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真空鍍膜設備性能分析

來源:林上科技   發布時間:2013/1/23 10:01:58  浏覽:
真空鍍膜設備主要由真空腔,抽氣系統,蒸發系統,成膜控制系統等組件構成,如今鍍光學薄膜的真空鍍膜機還可配置安裝光密度在線檢測儀來監測真空鍍膜生産品質。

  真空鍍膜設備主要由真空腔、抽氣系統、蒸發系統、成膜控制系統等組件構成。如今鍍光學薄膜的真空鍍膜機還可配置安裝光密度在線檢測儀,深圳市林上專業生産的光密度在線檢測儀LS152是專業用于真空鍍鋁膜、真空磁控濺射鍍太陽膜等光學薄膜生産線上真空鍍膜檢測設備。

真空鍍膜設備


      
真空鍍膜設備性能分析如下:
       1、爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。
       2、根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備,其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。
       3、夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求,轉動的速度範圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。
       4、真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、埚輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。
       5、根據工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(鎢絲、钼舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動、電動的引弧等),真空測量可選擇數字式智能真空計及其優質的測量規管,及其它測量儀器,如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。
     
       6、充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門,并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。
       7、根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。
       8、根據設備使用特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。
       9、完善的報警系統,對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

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